參數（shù）分析儀的主要技術（shù）指（zhǐ）標有哪（nǎ）些

參（cān）數分析儀是一（yī）種多功（gōng）能的測試儀器，能夠執行電流-電（diàn）壓（yā）（IV）、電容測（cè）量（CV）等多種測量和分析功（gōng）能。以下是其主要技（jì）術指標：

• 測（cè）量功能（néng）：在0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V範（fàn）圍內執行精確的電流-電壓（IV）測量，支持點測量（liàng）、掃描測量、采樣和脈衝測（cè）量。在1 kHz - 5 MHz頻率（lǜ）範圍內執行交流電容測量（liàng），支持準靜態電容-電壓（QS-CV）測量的脈衝 IV 測量和超快 IV 測量，低采樣間（jiān）隔為5 ns（200 MSa/s）。
• 測量精度（dù）：電容測試精度（1 pF，1 MHz）±1.2%。
• 分辨率：SMU模塊最小測量分辨率為：電流50 fA，電（diàn）壓0.5 μV。
• 其他特性：高達40 V的高壓脈勢，適用於非易失存儲器測試。

這些技術指標（biāo）共同決定了參數分析儀的（de）性（xìng）能和適用範圍，對於用戶選擇合適的參數分析儀至關重要。